HORIBA堀場制作所 高靈敏度二氧化硅濃度計SLIA-300

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滿足以 0.01μg/L (0.01 ppb) 的較高靈敏度測量超低密度二氧化硅的客戶需求

半導(dǎo)體生產(chǎn)制程中使用的超純水可以通過使用離子交換樹脂進(jìn)一步純化。快速捕獲從離子交換樹脂中溶解的二氧化硅可以控制超純水的質(zhì)量，這對制程十分重要。
HORIBA Advanced Techno 開發(fā)并采用了一種新的“長光路徑長度測量單元”，能夠?qū)Τ兔芏榷趸柽M(jìn)行高靈敏度測量，同時還提供緊湊的桌面型號，以提高實用性。
該產(chǎn)品具有自診斷等一系列標(biāo)準(zhǔn)功能以及高速響應(yīng)和高靈敏度等新的性能改進(jìn)，為半導(dǎo)體生產(chǎn)制程中的純水工藝提供了更強(qiáng)的支持。

概要

• 高靈敏度和高重復(fù)性

應(yīng)用光纖技術(shù)確保約 1 m 的長光路徑實現(xiàn)了超低密度的高靈敏度響應(yīng)。該產(chǎn)品可確保 5 分鐘高速測量過程，在 0-2 μg/L 測量范圍內(nèi)實現(xiàn)±2% F.S.的重復(fù)精度。

• 桌面型號緊湊設(shè)計

長光路徑長度測量單元”的靈活結(jié)構(gòu)也實現(xiàn)了緊湊設(shè)計。這種桌面型號適用于狹窄空間在內(nèi)的各種安裝條件。

• 試劑消耗減少至 1/5

為了將試劑消耗減少至先前的 1/5，反應(yīng)單元已改進(jìn)并與測量池分離。此外，測量單元已變更為管路型。采用“長光路徑長度測量單元”可以大幅降低試劑的運(yùn)行成本。

• 試劑消耗減少一半以上

不僅減少了試劑的消耗，還減少了樣品水的消耗。通過采用“長光路徑長度測量單元”，昂貴的純水（用作樣品水）消耗減少了 60%。HORIBA Advanced Techno 的二氧化硅濃度計有助于降低現(xiàn)場運(yùn)行成本。   

• 濃度計誤操作的自診斷功能

對誤操作執(zhí)行自診斷，例如樣品水和/或試劑注入、校正錯誤、單元內(nèi)溫度檢測和光源錯誤。發(fā)現(xiàn)錯誤時，警告燈點亮并顯示文本消息。

• 自動校正實現(xiàn)出色的可維護(hù)性

持續(xù)自動執(zhí)行零點校準(zhǔn)，以檢查透射光并校正濁度。

• 允許多達(dá)六點測量（可選）

可設(shè)置多達(dá)六個測量點。單個單元可進(jìn)行多點測量。

• 采用半長久光源：無需更換

采用單色性半導(dǎo)體光源，提供穩(wěn)定的光量和更長的壽命。可用作半長久光源。

長光路徑長度測量單元：可檢測低至 0.01 μg/L

測量單元為雙層結(jié)構(gòu)，其中透光氟碳樹脂管穿過不銹鋼管。由于碳氟化合物管和周圍空氣之間的折射率差異，從管路一側(cè)進(jìn)入的光到達(dá)另一側(cè)之前在管路中反復(fù)反射。
這種光傳輸機(jī)制是光纖有效率和低阻塞原理的應(yīng)用，實現(xiàn)了更高的檢測靈敏度和高重復(fù)性。（申請中）

這款長光路徑測量單元采用柔性管路結(jié)構(gòu)，尺寸緊湊。通過將長達(dá) 1 米的單元存儲在桌面緊湊機(jī)身中，成功將單元尺寸縮小至前代型號的 1/8。
此外，該測量單元的管路結(jié)構(gòu)可有效降低運(yùn)行成本：顯色劑和樣品水的消耗分別降低到先前量的 1/5 和 1/2。